探针显微冷热台是一种用于多领域微观研究的温控平台

更新时间：2025-08-08

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　　探针显微冷热台是结合探针测试与温度控制的科学仪器，主要用于半导体器件在高温/低温环境下的电性能测试。可实现-190℃至+600℃的准确控温，支持快速升温/降温(1-200℃/min)，适用于材料烧结、熔点分析等实验。配备精密探针系统，支持直流/射频测试，可测量芯片电阻、可靠性测试及高温/低温环境下的温度特性测试。与光学显微镜兼容，可观察流体包裹体、熔融包裹体等微观结构变化，适用于矿物学、材料科学等领域。‌

　　其核心功能在于：

　　宽温域控制：通过液氮制冷、电阻加热或半导体制冷(Peltier效应)技术，实现-190℃至1000℃的宽温区调控。

　　探针电学测试：配备X/Y/Z三轴精密位移平台(如位移精度≤1μm)，支持探针与样品表面微米级对准，实现电导率、IV曲线等电学性能测试。例如，在半导体器件研究中，可准确测量晶圆级样品在不同温度下的电学特性。

　　显微成像协同：集成光学透明窗口(如蓝宝石玻璃)或透光孔设计，兼容光学显微镜、荧光显微镜及拉曼光谱仪等设备，实现样品在温变过程中的微观结构实时观察。例如，在材料科学中，可观测高分子材料在相变过程中的晶格结构变化。

　　应用场景

　　‌半导体测试‌：评估芯片在**温度下的电性能稳定性。 ‌

　　‌材料研究‌：研究热膨胀系数、相变温度等热物理特性。 ‌

　　‌工业检测‌：汽车零部件、电子元件的耐温可靠性测试。

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