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显微分光膜厚仪

产品简介

OPTM 系列显微分光膜厚仪
测量项目：

• 绝.对反射率测量

• 多层膜解析

• 光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）

产品型号：OPTM 系列
更新时间：2025-12-09
厂商性质：生产厂家
访问量：9446
产品咨询 18117546256

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　　OPTM 系列显微分光膜厚仪
 
　　•  使用显微光谱法在微小区域内通过绝.对反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
 
　　•  可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了 即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件。
 
　　•  头部集成了薄膜厚度测量所需功能
 
　　•  通过显微光谱法测量高精度绝.对反射率(多层膜厚度，光学常数)
 
　　•  1点1秒高速测量
 
　　•  显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
 
　　•  区域传感器的安全机制
 
　　•  易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
 
　　•  独立测量头对应各种inline客制化需求
 
　　•  支持各种自定义
 
　　测量项目：
 
　　•  绝.对反射率测量
 
　　•  多层膜解析
 
　　•  光学常数分析(n：折射率，k：消光系数)

OPTM 系列显微分光膜厚仪

 

型号 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波长范围 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范围 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
测定时间 1秒 / 1点
光斑大小 10μm (小约5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘灯+卤素灯 卤素灯
电源規格 AC100V±10V 750VA（自动样品台规格）
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体 部分)
重量  
约 55kg（自动样品台规格之主体部分）
 
 

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