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显微分光膜厚仪

简要描述:OPTM 系列显微分光膜厚仪
测量项目:

• 绝.对反射率测量

• 多层膜解析

• 光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)

  • 产品型号:OPTM 系列
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-05-09
  • 访  问  量:3151

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详细介绍

OPTM 系列显微分光膜厚仪

 •  使用显微光谱法在微小区域内通过绝.对反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。

•  可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了 即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件。

•  头部集成了薄膜厚度测量所需功能

•  通过显微光谱法测量高精度绝.对反射率(多层膜厚度,光学常数)

•  1点1秒高速测量

•  显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)

•  区域传感器的安全机制

•  易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析

•  独立测量头对应各种inline客制化需求

•  支持各种自定义

测量项目:

•  绝.对反射率测量

•  多层膜解析

•  光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)

 

OPTM 系列显微分光膜厚仪

型号

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波长范围

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范围

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

测定时间

1秒 / 1点

光斑大小

10μm (小约5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘灯+卤素灯

卤素灯

电源規格

AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体 部分)

重量

55kg(自动样品台规格之主体部分)

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