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TECHNICAL ARTICLES显微分光膜厚仪是结合显微镜与分光光度技术的高精度薄膜厚度测量仪器
2025-09-03 显微分光膜厚仪是一种基于光的干涉和分光原理的高精度测量仪器,主要用于非破坏性、非接触地测量薄膜、晶片、光学材料及多层膜的厚度,并分析其光学常数(如折射率、消光系数)。通过显微光谱法测量微小区域的光谱反射率,当光线在薄膜前后表面多次反射形成干涉条纹时,分光技术将干涉条纹分解为不同波长的光谱,并测量其强度分布,通过算法计算膜厚及光学参数。显微分光膜厚仪通过光的干涉与分光原理实现非破坏性、非接触式测量。当光线照射到薄膜表面时,在薄膜前后表面多次反射形成干涉条纹,分光技术将这些条纹分...公司邮箱: qgao@buybm.com
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