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PRODUCTS CNTERM-SHP-X系列超高精密电动平移台• 加厚铝合金底座,基准面精密磨削,保证整体性能稳定• 内置进口超高精密光栅尺,闭环分辨率可达0.1μm• 进口超高等级滚珠丝杠,超高定位精度• 进口超高等级交叉滚枉导轨,超高运动性能• 标配三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音
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型号 | M-SHP-50-X | M-SHP-100-X | M-SHP-150-X | M-SHP-150-X | ||
行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 | ||
滚珠丝杠导程(mm) | 4 | |||||
电机型号 | FHB366-D(三相) | |||||
闭环分辨率(μm) | 0.1 | |||||
大速度(mm/s) | 40 | |||||
重复定位精度(μm) | <2 | |||||
回程间隙(μm) | <1 | |||||
运动直线度(μm) | <6 | <10 | ||||
运动平直度(μm) | <6 | <10 | ||||
自重(Kg) | 8.5 |
| 10.5 | 13.5 15 | ||
中心负载(Kg) | 30 |
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