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激光修补机是怎样修复掩膜版的?

更新时间:2023-04-11      点击次数:960
  激光修补机是一种利用激光技术对材料表面进行微小的改变和修复的设备,通常应用于微电子、光学、医疗等领域。
 
  激光修补机通常由以下几个部分组成:
 
  1.激光器:产生高能激光束。
 
  2.光路系统:将激光束引导至工件表面进行修补。
 
  3.工件平台:将需要修补的工件固定在上面。
 
  4.控制系统:控制激光束的参数和移动轨迹,实现准确的修补操作。
 
  5.视觉系统:监测修补过程,帮助操作者调整修补位置和参数。
 
  6.辅助设备:如冷却水循环系统、粉尘收集系统等。
 
 


 

  激光修补机的优势包括:
 
  1.高精度:激光修补机可以实现微小区域的高精度修复,尤其适用于需要进行高精度修复的零部件。
 
  2.无需接触:激光修补机不需要接触被修补物体表面,减少了可能对物体造成的二次损伤。
 
  3.快速修复:激光修补机可以快速进行修复,缩短了修补时间。
 
  4.精细控制:激光修补机可以通过精细的控制实现复杂形状的修复。
 
  5.可重复使用:激光修补机可以多次使用,节省了修复成本。
 
  激光修补机的优点是精度高、速度快、可重复性好,能够有效地解决掩膜版因使用或制造过程中出现的问题,提高产品质量和产能。掩膜版缺陷修复时,其原理是利用激光束照射在掩膜版上,通过局部加热使掩膜版材料发生变化,从而实现对掩膜版进行修复。
 
  具体操作步骤如下:
 
  1.将需要修复的掩膜版放置在激光修补机工作台上。
 
  2.使用软件进行图像处理,将需要修复的区域进行标记。
 
  3.调整激光束的参数,如功率、频率、焦距等。
 
  4.开始激光加工,激光束照射到需要修复的区域,使其受热。
 
  5.在掩膜版表面形成一个微小的坑洼,接着使用填充材料填充坑洼。
 
  6.经过多次重复上述步骤,直到掩膜版修复好。
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