Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

产品简介
●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成

●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐

●支持半导体工艺的高吞吐量要求

●支持槽口对齐功能

●小尺寸规格

●高精度自动校准单元

产品型号：

更新时间：2025-01-23

厂商性质：生产厂家

访问量：307

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

光谱系统

显微缺陷膜厚半导体晶圆缺陷检测仪高光谱测试系统瞬态吸收系统太阳能电池量子效率太阳光模拟器IV系统显微光电流成像系统探测器光响应度系统光谱变温附件探针台拉曼SERS增强试剂显微荧光系统组合荧光系统镜头透过率测试系统漫反射率测试系统反射、吸收率系统成像亮度计标准灯参考辐射定标电致发光系统常规发射光谱系统共聚焦拉曼光谱仪

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产品信息

测量示例

TSV嵌入式图形晶圆研磨后的硅厚度

晶圆厚度Φ300mm尺寸

规格

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

测量示例

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展，上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度，客户遍布全国。我们将继续努力，不断提升市场地位和影响力。

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