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Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

简要描述:●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成

●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐

●支持半导体工艺的高吞吐量要求

●支持槽口对齐功能

●小尺寸规格

●高精度自动校准单元

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-08
  • 访  问  量:160

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详细介绍

品牌OTSUKA/日本大冢

产品信息

测量示例

TSV嵌入式图形晶圆研磨后的硅厚度

晶圆厚度Φ300mm尺寸

规格

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300

测量示例

Load Port对应膜厚测量系统 GS-300










上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展,上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度,客户遍布全国。我们将继续努力,不断提升市场地位和影响力。

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