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嵌入式膜厚检测仪

产品简介

● 采用分光干涉法

● 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专zhuan利 第4834847号)

● 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统

● 可嵌入至各种制造设备。

● 实时测量膜厚

● 可对应远程操作、多点测量

● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源

产品型号:
更新时间:2025-01-23
厂商性质:生产厂家
访问量:285
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产品信息

测量项目

多层膜厚解析

用 途

光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)

FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)

设备构成

单点型

嵌入式膜厚检测仪

半导体晶圆的面内分布测量

玻璃基板的面内分布测量

多点型

嵌入式膜厚检测仪

实时测量

流向品质管理

真空室适用

导线型

嵌入式膜厚检测仪

实时测量

宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析

嵌入式膜厚检测仪







上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展,上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度,客户遍布全国。我们将继续努力,不断提升市场地位和影响力。


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