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PRODUCTS CNTERMHS400V-4P探针冷热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的真空性能和精准的温控系统。
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温度范围: -196℃~600℃
加热区: φ30mm
探针行程: 14mm
探针位移精度 1μm
探针针尖直径(默认) 100μm
物镜工作距离: 15mm
通光孔直径: 2mm
最大升温速率: 150℃/min
最慢升温速率:0.1℃/min
观察窗: φ40mm
温控精度: 0.1℃
极限真空: 1pa(机械泵),5×10^(-3)pa(分子泵)
支持反射/透射模式
型号 | MHS300V-4P | MHS400V-4P | MHS600G-4P | |
温控模块 | 加热/制冷方式 | 电阻加热,液氮制冷 | ||
温控范围 | -190~300°C* | -190~400°C* | -190~600°C* | |
温度稳定性 | ±0.1°C | |||
温度分辨率 | ±0.1°C | |||
最大升温速率 | 0~100°C/min (可定点/程序段控温) | |||
温控方式 | PID | |||
温度传感器 | PT100 | |||
光学特性 | 光路 | 反射/透射光路(可选) | ||
视窗材质 | 石英玻璃* | |||
视窗尺寸 | φ40mm* | |||
视窗厚度 | 0.5mm* | |||
物镜工作距离 | 15mm* | |||
透光孔 | φ2mm* | |||
电学特性 | 探针 | 移动探针模组x4 *,手动调整XYZ | ||
探针行程 | 13mm | |||
探针位移精度 | 1μm | |||
探针接口 | SMA 接口x4* | |||
探针直径 | 10 / 50 / 100 μm* | |||
结构特性 | 样品台尺寸 | φ30mm* | ||
样品台材质 | 纯银* | |||
外形尺寸 | 180x112x26* | |||
样品腔高度 | 3mm* | |||
腔室 | 气密 | |||
外壳冷却 | 循环水 | |||
基本配置 | 冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件 | |||
选配 | 电脑主机/平板电脑/触控屏/安装支架/真空系统/其他定制 | |||
备注 | 以上为默认参数 * 为可定制项 | |||
其他可选型号 | 按需求进行配置 |
公司邮箱: qgao@buybm.com
服务热线: 021-61052039
公司地址: 上海市浦东新区叠桥路456弄创研智造C7区301室
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