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MHS400V-4P探针冷热台

产品简介

MHS400V-4P探针冷热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的真空性能和精准的温控系统。

产品型号:
更新时间:2025-08-05
厂商性质:生产厂家
访问量:27
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  • 温度范围: -196℃~600℃

  • 加热区: φ30mm

  • 探针行程: 14mm

  • 探针位移精度 1μm

  • 探针针尖直径(默认) 100μm

  • 物镜工作距离: 15mm

  • 通光孔直径: 2mm

  • 最大升温速率: 150℃/min

  • 最慢升温速率:0.1℃/min

  • 观察窗: φ40mm

  • 温控精度: 0.1℃

  • 极限真空: 1pa(机械泵),5×10^(-3)pa(分子泵)

  • 支持反射/透射模式

型号MHS300V-4PMHS400V-4PMHS600G-4P
温控模块加热/制冷方式电阻加热,液氮制冷
温控范围-190~300°C*-190~400°C*-190~600°C*
温度稳定性±0.1°C
温度分辨率±0.1°C
最大升温速率0~100°C/min (可定点/程序段控温)
温控方式PID
温度传感器PT100
光学特性光路反射/透射光路(可选)
视窗材质石英玻璃*
视窗尺寸φ40mm*
视窗厚度0.5mm*
物镜工作距离15mm*
透光孔φ2mm*
电学特性探针移动探针模组x4 *,手动调整XYZ
探针行程13mm
探针位移精度1μm
探针接口SMA 接口x4*
探针直径10 / 50 / 100 μm*
结构特性样品台尺寸φ30mm*
样品台材质纯银*
外形尺寸180x112x26*
样品腔高度3mm*
腔室气密
外壳冷却循环水
基本配置冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件
选配电脑主机/平板电脑/触控屏/安装支架/真空系统/其他定制
备注以上为默认参数  * 为可定制项
其他可选型号按需求进行配置


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