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OP-PAI系列真蜂窝气浮隔振光学平台 • 水平方式:自动充气,自动平衡 • 固有频率:1~1.5Hz • 重复定位精度:±0.10mm • 台面材料:SUS430高导磁不锈钢 • 台面内部结构:隔离杯真蜂窝内芯 • 台面厚度:100/200/250mm • 平面度:0.1mm/600mm×600mm • 台面粗糙度:≤0.8μm
OP-AI系列气浮隔振光学平台 • 固有频率:<1.2~2Hz • 重复定位精度:±0.10mm • 台面材料:SUS430高导磁不锈钢 • 台面厚度:100/200/250mm • 平面度:≤0.05mm/m2 • 台面粗糙度:≤0.8μm,局部可达0.4μm • 气浮支架:双层气室,3个真空管水平调节阀,四或六支撑腿 • 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-20~+20
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