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晶圆级探针台
产品简介:
N系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台
采用高刚性显微镜龙门设计,结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向
精密位移调节,显微镜放大倍率高,操作方便。同时支持多种功能的升级,
非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器
件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位
和半导体工厂都得到了广泛运用。
产品优势:
显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。
卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以加载探针卡。
可升级性强,最高可升级220G高频,可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
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