产品简介

●非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
●采用分光干涉法实现高度检测再现性
●可进行高速的即时研磨检测
●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
●体积小、省空間、设备安装简易
●可对应线上检测的外部信号触发需求
●采用最适shi合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得专zhuan利)
●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)

显微缺陷膜厚 半导体晶圆缺陷检测仪 高光谱测试系统 瞬态吸收系统 太阳能电池量子效率 太阳光模拟器IV系统 显微光电流成像系统 探测器光响应度系统 光谱变温附件探针台 拉曼SERS增强试剂 显微荧光系统 组合荧光系统 镜头透过率测试系统 漫反射率测试系统 反射、吸收率系统 成像亮度计 标准灯参考辐射定标 电致发光系统 常规发射光谱系统 共聚焦拉曼光谱仪