Product classification
SiC MOS/IGBT双脉冲测试
标准探针台
客制化探针台
系统集成测试仪器租·售·修
行业解决方案·探针台系统
激光微加工修复探针台系统
Relevant Articles
FA(失效分析)专用激光探针台系统
l 失效分析实验室专用(芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证)
l 激光镭射波长1064/532/355nm 可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底
l 材料/器件(尤其是射频特征芯片)的 IV/PIV/CV 电性测试和失效分析。
l 最小切割线宽:355nm 1um; 532nm 1.2um ; 1064nm 1.5um
l 探针平台可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
l 卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品
l 可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能。
l 高功率白色照明光源(亮度可以无级调节)
联系我们
咨询电话