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失效分析探针台

简要描述:失效分析探针台,FA(失效分析)专用激光探针台系统
失效分析实验室专用(芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证)

  • 产品型号:FA
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:1005

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失效分析探针台FA(失效分析)专用激光探针台系统

l 失效分析实验室专用(芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证)

l 激光镭射波长1064/532/355nm 可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底

l 材料/器件(尤其是射频特征芯片)的 IV/PIV/CV 电性测试和失效分析。

l 最小切割线宽:355nm 1um; 532nm 1.2um ; 1064nm 1.5um

l 探针平台可以上下微调,行程25mm,升降精度1um

l 卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品

l 可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能。

l 高功率白色照明光源(亮度可以无级调节)


失效分析探针台FA(失效分析)专用激光探针台系统



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