Product classification
SiC MOS/IGBT双脉冲测试
标准探针台
客制化探针台
系统集成测试仪器租·售·修
行业解决方案·探针台系统
激光微加工修复探针台系统
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产品特点:
双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用 于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer ,LED LCD、太阳能电。
产品优势:
可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动,省时,省力,省心双光路系统,上光路可升级加载光电流系统。
型号
技术参数
SH-6
SH-8
SH-12
台体
整机尺寸(mm)
700mmL*700mmW*720mmH
750mmL*750mmW*720mmH
880mmL*880mmW*720mmH
重量
85kg
100kg
160kg
卡盘大小
6" ,360 度转动, 可微调
8",360 度转动,可微调
12",360 度转动,可微调
卡盘行程和精度
6"*6",精度10um
8"*8",精度10um
12"*12",精度 10um
卡盘材质
高透射玻璃或者镂空
固定方式
机械式压片固定,尺寸可调
卡盘升降功能
Chuck可以上下快速升降5mm和微调升降6mm,精度1微米
可选附件
射频校准台;chuck 360度快速移动;探针座平台升降;加热等
针座平台
类型
双面点针平台,单个平台最多可放置8个DR/L-100探针座
材质
U型平台,镀镍,与探针座之间具备更强吸附力,带接地端子
正面光学系统
倍率范围
16X~100X/60X~420X/20X~4000X
显微镜行程
具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2 英寸,精度1um
CCD 成像系统
200 万/500 万像素,帧率 60fps,带拍照、录像、测量功能
背面光学系统
显微镜类型
L型单筒显微镜
连续变倍比
0.75X~5X
40X~280X(可选高倍物镜增加倍率)
200 万/500 万像素,帧率60fps,带拍照、录像、测量功能
探针座
DR/L-200m/V和DR/L-100m/V
X-Y-Z 行 程
12.5mm-12.5mm-12.5mm
机械精度
0.5um/0.7um
夹具
漏电精度
10pA/100fA
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等
选件
屏蔽箱/防震桌/射频探针卡/光电流显微镜/大功率
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