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双面点针探针台

简要描述:SH系列双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用 于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。

  • 产品型号:SH系列
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-20
  • 访  问  量:1013

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详细介绍

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SH系列双面点针探针台

产品特点:

双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用 于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工程学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer LED LCD、太阳能电。

产品优势:

可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动,省时,省力,省心双光路系统,上光路可升级加载光电流系统。

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SH系列双面点针探针台

 

        

型号

   技术参数    

SH-6

SH-8

SH-12

台体

整机尺寸(mm)

700mmL*700mmW*720mmH

750mmL*750mmW*720mmH

880mmL*880mmW*720mmH

重量

85kg

100kg

160kg

卡盘大小

6" ,360 度转动, 可微调

8",360 度转动,可微调

12",360 度转动,可微调

卡盘行程和精度

6"*6",精度10um

8"*8",精度10um

12"*12",精度 10um

卡盘材质

高透射玻璃或者镂空

固定方式

机械式压片固定,尺寸可调

卡盘升降功能

Chuck可以上下快速升降5mm和微调升降6mm,精度1微米

可选附件

射频校准台;chuck 360度快速移动;探针座平台升降;加热等

针座平台

类型

双面点针平台,单个平台最多可放置8个DR/L-100探针座

材质

U型平台,镀镍,与探针座之间具备更强吸附力,带接地端子

正面光学系统

倍率范围

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2 英寸,精度1um

CCD 成像系统

200 万/500 万像素,帧率 60fps,带拍照、录像、测量功能

背面光学系统

显微镜类型

L型单筒显微镜

连续变倍比

0.75X~5X

倍率范围

40X~280X(可选高倍物镜增加倍率)

CCD 成像系统

200 万/500 万像素,帧率60fps,带拍照、录像、测量功能

探针座

类型

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V

X-Y-Z 行 程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

机械精度

0.5um/0.7um

夹具

漏电精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等

选件

屏蔽箱/防震桌/射频探针卡/光电流显微镜/大功率


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