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反射谱成像技术

简要描述:iSR是一种微光斑测试技术,用于实时刻蚀和Halftone工艺中的厚度测试

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-08
  • 访  问  量:154

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详细介绍

品牌波铭科仪

Capability:

  • 最小0.1μm光斑尺寸进行监控

  • 波数测试范围从20到100cm-1

  • 椭偏和iSR同步测试,可以获得二维高分辨厚度图谱

反射谱成像技术 反射谱成像技术






上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展,上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度,客户遍布全国。我们将继续努力,不断提升市场地位和影响力。



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