反射谱成像技术

产品简介
iSR是一种微光斑测试技术，用于实时刻蚀和Halftone工艺中的厚度测试

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更新时间：2025-04-23

厂商性质：生产厂家

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半导体材料测试

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Capability:

最小0.1μm光斑尺寸进行监控
波数测试范围从20到100cm^-1
椭偏和iSR同步测试，可以获得二维高分辨厚度图谱

反射谱成像技术

上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展，上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度，客户遍布全国。我们将继续努力，不断提升市场地位和影响力。

上一个：光谱型椭偏仪