汞CV测试系统

产品简介
汞CV测试系统，用于对外延或前道工艺中的non-pattemed晶片做汞C-V测试;

MCV-530L可测最大200mm的样品。

产品型号：

更新时间：2025-04-23

厂商性质：生产厂家

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

半导体材料测试

体微缺陷测试霍尔电阻迁移率光伏光致发光深能级瞬态谱测试椭偏拉曼AFM 半导体多功能测试 CV测试系统集成测试仪器租赁

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Capability:

Epi layer characterization
-Dopant Profile-N(x)
-Resistivity Profile-p(x)
Gate metrology
-Oxide thickness-EOT
-Flatland, threshold voltage-V_FB,V_T
Effective oxide charge-Q_EFF
-Dielectric constant-k
-Interface state density-Dit
IV measurements of low-k dielectricsStepped voltage, stepped current,
.Constant current modes
-Leakage current-l_L
-V_BDfor HMET
-Field-to-breakdown-F_BD
-K_S_B, t_sb,Q_B_D, V_max

汞CV测试系统

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