SIRM红外体微缺陷分析仪

产品简介
SIRM是非接触和非破坏型光学检测设备，对体微缺陷，如氧化物和金属沉淀，位错、堆垛层错，体材料中的滑线和空隙等进行测试。

这个技术也可对GaAs 和 InP等复合材料进行测试。

产品型号：

更新时间：2025-01-14

厂商性质：生产厂家

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PRODUCT CLASSIFICATION

半导体材料测试

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Capability:

无需制样
最小测试缺陷尺寸10nm
测试缺陷浓度范围:10⁵-10⁹cm^-3
可做外延片测试
测试样品最大尺寸300mm

上海波铭科学仪器有限公司主要提供光谱光电集成系统、晶萃光学机械和光学平台、激光器、Edmund 光学元件、Newport 产品、滨松光电探测器、卓立汉光荧光拉曼光谱仪、是德 Keysight 电学测试系统、大塚 Otsuka 膜厚仪、鑫图科研级相机、Semilab 半导体测试设备及高低温探针台系统。经过多年的发展，上海波铭科学仪器有限公司在市场上已取得了一定的地位。我们的产品和服务在行业内具有较高的知zhi名度和美誉度，客户遍布全国。我们将继续努力，不断提升市场地位和影响力。

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