LST体微缺陷测试设备

产品简介
LST是检测半导体材料的体微缺陷有力工具，通过CCD相机，对入射光在样品边沿的散射进行扫描，获得体微缺陷分布信息。

产品型号：

更新时间：2025-01-14

厂商性质：生产厂家

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

半导体材料测试

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Capability:

物镜自动调节
纳米级移动
对缺陷浓度和尺寸更加灵敏
测试尺寸:20nm到15nm
缺陷浓度:1e5-2.5e10cm^–³

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