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●可测量稀薄溶液~浓厚溶液的ZETA电位和粒径,并可进行分子量测量的检测装置。 ●适用于粒径测量范围(0.6nm~10um),浓度范围(0.00001%~40%)。
利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点,在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。
●Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成 ●实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐 ●支持半导体工艺的高吞吐量要求 ●支持槽口对齐功能 ●小尺寸规格 ●高精度自动校准单元
ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统可测量浓度低的溶液~浓度高的溶液的ZETA电位・粒径及分子量。
QE-2000荧光量子效率测试系统瞬间测量绝.对量子效率。适用于粉末、溶液、固体(膜)、薄膜样品的测量。通过低杂散光多通道分光检出器,大大减少了紫外区域 的杂散光。
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