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深能级瞬态谱仪(DLTS)是检测半导体材料和器件缺陷和杂质的最好技术手段,它可以测定各种深能级相关参数,如深能级,俘获界面,浓度分布等。
拉曼光谱用来测试材料应力,掺杂浓度和sheet& pattem等。从散射光的能量转移,强度和偏振等方面可以获取样品丰富信息,如:结晶取向,组分,机械应力,掺杂和温度变化等。
原子力显微镜使用非常小的探针,扫描样品表面,在原子尺度探测样品形貌。Semilab的AFM设备,可灵活配置和测试,具备优异测试稳定性和可靠性。
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